濺射薄膜壓力敏感元件
濺射薄膜壓力敏感元件：壓力敏感元件采用濺射工藝，在壓力介質直接作用的17-4PH不銹鋼膜片上，以分子鍵合的方式制作出“微米”級的電阻膜。濺射薄膜壓力敏感元件再經過微電子工藝制作出需要的惠斯登電橋，組成全金屬型敏感元件，無任何粘貼劑和活動件，無需密封腔和充油腔，因此具有適用惡劣環境和長期穩定性工作的特點，
特點
*長期穩定 *信號線性化
*具有溫度內補償 *小型化(芯片直徑7mm)
*具有壓力和溫度一體化雙輸出
濺射薄膜壓力敏感元件焊接型：通過焊接（激光，電子束，微束等離子，微束亞弧焊）方式實現壓力敏感元件與引壓接頭的連接。
結構圖：
焊接型（W）
內孔尺寸：5~20bar 4.5mm 35~2200bar 3.5mm
敏感元件：
引線示意圖
惠斯登電橋示意圖：
引線方式：1、3為供電激勵源（1：地，3：電源+）
2、4為信號輸出端
（1、5之間為測溫電阻，作為內補償電阻）
焊點材料：錫/鉛?？芍苯佑美予F錫焊（建議使用高溫焊錫）
鎳。使用超聲壓焊
濺射薄膜壓力敏感元件技術參數：
壓力量程（bar）：5, 7, 10, 16, 20, 35, 70, 100, 160, 250, 400, 700,1000, 1600, 1800, 2200
允許過負載（% FS）：200%（破壞壓力：10倍滿量程壓力）
熱零點漂移（%FS℃）：小于0.005
熱靈敏度漂移（%FS℃）：小于0.005
長期穩定性 （%FS/年）：小于±0.1
工作溫度范圍（℃）：-70℃~200℃（特殊要求從-100℃~300℃）
橋臂電阻（KΩ）：3 KΩ~4 KΩ
絕緣電阻（MΩ）：大于500
頻率響應：大于10KHZ
靈敏度（mV/V）及非線性：
|
量程（bar）
|
5
|
7
|
10
|
16
|
20
|
35
|
|
靈敏度（mV/V）
|
0.99±0.25
|
1.27±0.25
|
1.21±0.2
|
1.24±0.2
|
1.30±0.2
|
1.67±0.2
|
|
*大非線性（% FS）
|
0.4
|
0.35
|
0.20
|
0.15
|
0.15
|
0.15
|
|
量程（bar）
|
70
|
100
|
160
|
250
|
400
|
700
|
|
靈敏度（mV/V）
|
1.81±0.2
|
2.26±0.3
|
1.98±0.3
|
2.19±0.3
|
2.13±0.2
|
2.26±0.2
|
|
*大非線性（% FS）
|
0.15
|
0.15
|
0.15
|
0.15
|
0.10
|
0.10
|
|
量程（bar）
|
1000
|
1600
|
1800
|
2200
|
|
靈敏度（mV/V）
|
1.33±0.25
|
1.40±0.25
|
1.08±0.2
|
1.32±0.15
|
|
*大非線性（% FS）
|
0.05
|
0.05
|
0.05
|
0.05
|
